利用离子注入技术制备新型结构SiC器件的展望

利用离子注入技术制备新型结构SiC器件的展望

王守国, 张岩

Prospect of a New Structure SiC MESFETs Fabricated by Ion-Implantation

WANG Shou-guo, ZHANG Yan

自然杂志 . 2011, (4): 211 -215 . DOI: 10.3969/j.issn.0253-9608.2011.04.006